產(chǎn)品[
高精度單面研磨機(jī)-硅晶片、GaAs、LiNbO3、光學(xué)濾鏡等的加工設(shè)備
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產(chǎn)品名稱:
高精度單面研磨機(jī)-硅晶片、GaAs、LiNbO3、光學(xué)濾鏡等的加工設(shè)備
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簡單介紹
NanoSurface 380SV 型號主要加工硅晶片、GaAs、InP、LiNbO3等精度比較小的晶片及AWG、Optical Fiber等光學(xué)部件的研磨拋光。
為了加大研磨拋光效果配備了雙軸震動裝置，震動角度及速度可根據(jù)觸摸式顯示屏的設(shè)定值，在微小范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。
震動裝置由伺服電機(jī)以及Ball Screw驅(qū)動，所有加工過程中需要的數(shù)據(jù)的編輯及運(yùn)行都在觸摸式顯示屏上實(shí)
高精度單面研磨機(jī)-硅晶片、GaAs、LiNbO3、光學(xué)濾鏡等的加工設(shè)備的詳細(xì)介紹
- NanoSurface 380SV型號主要加工硅晶片、GaAs、InP、LiNbO3等精度比較小的晶片及AWG、Optical Fiber等光學(xué)部件的研磨拋光。
- 為了加大研磨拋光效果配備了雙軸震動裝置，震動角度及速度可根據(jù)觸摸式顯示屏的設(shè)定值，在微小范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。
- 震動裝置由伺服電機(jī)以及Ball Screw驅(qū)動，所有加工過程中需要的數(shù)據(jù)的編輯及運(yùn)行都在觸摸式顯示屏上實(shí)行。
- 精密拋光時，為了防止化學(xué)研磨液腐蝕設(shè)備，采用了特殊Urethan壓膜處理及特殊材質(zhì)。
- 研磨盤回轉(zhuǎn)啟動及停止時，為了減少對產(chǎn)品的負(fù)荷，采用了自動控制慢啟動慢停止裝置。
- 使用特殊裝卡裝置（Special Holding Jig），可隨時控制產(chǎn)品的加工尺寸。
- 為了配備特殊裝卡裝置（Special Holding Jig），采用了真空吸盤裝卡（Vacuum Chucking）系統(tǒng)，因配備了研磨液自動噴灑裝置，可精密控制研磨液的供給。
- 超精密研磨、拋光時為了保證反復(fù)精度和生產(chǎn)性，采用了無噪音的驅(qū)動系統(tǒng)，采用了高強(qiáng)度鑄鐵機(jī)身及超精密主軸系統(tǒng)，吸收及緩沖了研磨、拋光時細(xì)微噪音或震動，提高了產(chǎn)品精度及平面度。
- 適用范圍：硅晶片、GaAs、InP、LiNbO3、AWG、DWDM、光學(xué)濾鏡（Optical Filter）、光學(xué)纖維合成物的端面加工、多種加工參數(shù)設(shè)定、assist R & D
- 配件：1) 夾緊裝置 2) 拋光液振蕩器以及泵系統(tǒng) 3) 研磨盤
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型號 |
研磨盤尺寸 |
研磨盤回轉(zhuǎn)數(shù) |
電機(jī) |
電源 |
設(shè)備尺寸 |
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NanoSurface 380SV |
Ø380 |
0～60 |
Servo 0.4 kW |
220V,2P,50/60Hz |
800×910×1,100 |
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震動電機(jī) |
工作軸 |
裝卡尺寸 |
控制形式 |
震動角度 |
震動轉(zhuǎn)速 |
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Servo 50W |
2 |
Max 4” |
PLC & Touch Screen |
Max 15° |
0～15rpm |
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